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上海翻譯公司完成“金屬沉積系統(tǒng)”操作說明英中翻譯
發(fā)布時間：2020-06-15 15:08 點擊：
上海翻譯公司完成“真空金屬沉積系統(tǒng)”操作說明中文翻譯
目錄1. 健康和安全注意事項2. 說明3. 技術數(shù)據(jù)4. 所需服務5. 安裝6. 部件布局7. 操作8. 建議的維護要求9. 建議的備件清單VMD900DL說明手冊 第3頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited1. 健康和安全注意事項警告！ 在使用本設備前，請閱讀這些說明及所有相關的制造商說明手冊。 本系統(tǒng)自動運行。系統(tǒng)真空泵和閥門可以運行，而無警告。 如果需斷開壓縮空氣供應管道，應謹慎操作。 在進行任何維護前，隔離系統(tǒng)的電源供應 操作本系統(tǒng)時應特別謹慎 操作員在使用本系統(tǒng)前，應充分熟悉所有相關的操作和健康及安全程序 在本系統(tǒng)上進行清洗或維護前，請仔細閱讀本手冊。 當在本系統(tǒng)上進行清洗或維護時，始終穿戴建議的個人防護裝備VMD900DL說明手冊 第4頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited2. 說明VMD900DL真空金屬沉積系統(tǒng)旨在用于真空鍍膜指紋檢測技術。該系統(tǒng)的設計主要用于軟包裝塑料的涂鍍，如聚乙烯袋，同時可用于固體塑料、玻璃、槍支和許多其他無孔樣品制成的部件的涂鍍。該工藝將按照應用科學技術中心（CAST）開發(fā)的程序執(zhí)行，并記錄在指紋可視化手冊2014中。總則本系統(tǒng)的設計符合所有英國標準，并使用新的CE認證的部件制造。該系統(tǒng)適合于警務室和法醫(yī)實驗室中的工作人員使用，只需最低限度的培訓，并且所需維護工作量最少。部件、控件和設計均確保對操作員和其他人員健康和安全的危害最小化本系統(tǒng)的設計能夠提供快速的抽真空時間，可輕松蒸發(fā)和進氣，因此周期時間最小。腔室該系統(tǒng)在一次蒸發(fā)中，能夠涂鍍的軟聚乙烯薄膜材料表面最大達到800mm×1214mm，且基底無需伸出到工件夾具之外。腔室是臥式圓柱型，內部直徑為770mm，內部可用深度約為900mm。提供有用于腔室樣品裝卸的簡單方法（參見下面的工件夾具規(guī)格）。腔室內裝有一個直徑200mm的通過孔徑窗口，方便觀察待涂鍍的樣品表面。該窗口提供清晰視界，斜向上觀察到涂鍍表面。VMD900DL說明手冊 第5頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited腔室的設計使普通身高的操作員可以很容易地通過觀察口進行觀察，并容易觀察腔室上部的內表面。提供四個低電壓LED燈（每個至少為20瓦），每側燈絲兩個，分布在沿燈絲組件大約三分之一和三分之二的位置。操作員可以很容易地更換這些燈具。燈座的設計使得觀察者可避免燈絲光直射，同時為待涂鍍樣品表面提供最佳的照明。在處理樣品和顯現(xiàn)標志期間，可以打開和關閉燈光操作員可以很容易地更換這些燈具。抽氣孔開口處安裝有金屬格柵，以防止將如聚乙烯薄膜等材料吸入泵內，并防止對高真空閥門造成潛在損害。工件夾具提供裝載待處理物品的簡單方法。安裝一個直徑750mm的半圓柱形工件夾具（比腔室內半徑約小25mm，并且比腔室的可用內部長度短50mm）�？赏ㄟ^小型10mm直徑×10mm長的高功率Bromag磁鐵，將薄聚乙烯薄膜牢固地連接至工件夾具。工件夾具為不銹鋼磁性等級。具有耐弱堿或酸清洗性能。工件夾具安裝在支撐導軌的系統(tǒng)上，使其可完全從腔室收回，鎖定在處于45、90和180度位置的收回位置。工件夾具的收回和旋轉操作確保快速可靠和安全，因此工件夾具的設計可以消除兩個支持導軌和鎖定系統(tǒng)獨立運行的可能性。為最大程度保證操作員的安全，采用摩擦停止和機械停止兩種方式。注意：當旋轉工件夾具系統(tǒng)時應始終注意，并且操作員應確保不安裝不均衡負荷至工件夾具。VMD900DL說明手冊 第6頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited工件夾具在燈絲上方也有三排直徑為3至5mm的平行小孔，以便大尺寸的展示件可以連接至工件夾具上進行加工。特別注意事項該系統(tǒng)能夠處理典型量的水蒸氣和其他污染物，例如，樣品生成的烴油和有機化合物。同時可以處理由于鋅的蒸發(fā)而造成的其他重大污染源。注意：當清洗腔室設備時，應使用防塵口面罩、手套和安全眼鏡。泵送系統(tǒng)供應的泵送組在本應用中已得到很好的證明，非常強大和可靠，具有高泵送速度/性能，并高度耐受本工藝中發(fā)現(xiàn)的污染物。粗抽泵包括Edwards E2M80（旋轉泵）/Edwards EH500（機械增壓器）的組合，具有在大氣壓力下約80m3hr-1的泵送速度，以及在10-1毫巴條件下400 m3hr-1的泵送速度。該E2M80旋轉泵裝有一個MF100油霧過濾器，以確保通過泵排氣管的油霧排放達至最小。使用ISO100背壓/粗抽壓管，以確保腔室處的最佳泵送速度，不會由于導電限制而造成重大損失。提供Varian VHS-10水冷式擴散泵（5300 ls-1），并配有氣動高真空閘閥。腔室的有效泵送速度為3750 l s-1。擴散泵注滿硅704流體。擴散泵將承受高達25℃的冷卻水入口溫度，并裝有熱敏彈簧開關和水流開關，該開關連接到PLC控制系統(tǒng)，以進行報警并提供自動故障安全狀態(tài)檢測。泵送性能和系統(tǒng)規(guī)范Edwards E2M80（旋轉泵）/Edwards EH500（機械增壓器）和Varian VHS-10高通量擴散泵組合，確保實現(xiàn)非�？焖俚某闅鈺r間。在不運行“指形冷凍器”的情況下，在金或銀工藝壓力條件下（1x10-5毫巴）的空載、干燥室排氣時間通常是6-7分鐘。VMD900DL說明手冊 第7頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited在正常工作參數(shù)條件下，對于訓練有素的操作員，可以在不到12分鐘的時間完成一次過程。燈絲支架和電源蒸發(fā)絲沿腔室的前部至后部直線分散布置，距離腔室的底部約100mm。在金和鋅的蒸發(fā)過程中，燈絲相對于待涂鍍表面的位置應謹慎設計，應盡可能使表面均勻涂鍍。有三個獨立可選擇的蒸發(fā)源組。燈絲設計應使得特定源的位置具有靈活性。源安裝在沿腔室長度約1/4、1/2、3/4的距離處。采用燈絲夾固定到源母線的設計，確保燈絲更換時不會導致意外的安裝錯位。燈絲組件可直接拆除和拆卸，以方便清潔，并采用堅固耐用結構。絕緣體的設計最大限度地減少發(fā)生鋅沉積層“橋接”的潛在問題。電源和控制系統(tǒng)非常適合于提高用于蒸鍍金的一對燈絲溫度達至白熱狀態(tài)，以及提升兩用于鍍鋅的蒸發(fā)皿溫度至熾熱狀態(tài)。儀表與控制系統(tǒng)控制系統(tǒng)直觀可用，在腔室前從操作員的位置，可以很容易地使用所有經常使用的控件，同時可通過腔室觀察口進行觀察。三菱FX系列可編程邏輯控制器（PLC）和E1101觸摸屏字母數(shù)字顯示器（HMI）�？刂葡到y(tǒng)提供真空系統(tǒng)的簡單半自動操作。采用單按鈕操作，PLC控制真空泵的運行和腔室從大氣壓力至工藝準備壓力的排氣。VMD900DL說明手冊 第8頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems LimitedHMI顯示器具有一個簡單的系統(tǒng)模擬，并安裝在控制單元內，以允許操作員易于識別系統(tǒng)狀態(tài)。所有控件均清楚地標記。控制系統(tǒng)通過“SOURCE”提供蒸發(fā)控制。PLC控制腔室壓力處于以下參數(shù)內：金 超過2×10-4毫巴鋅 3×10-4和5×10-4毫巴之間真空計真空測量包括兩個ATC-M主動熱電偶測頭（一個在再生管線中，另一個在腔室上）以及一個位于腔室上的AIM-S主動倒置磁控測頭。在最佳壓力（由腔室ATC-M測量）條件下時，AIM-S主動倒置磁控測頭自動開啟和關閉，以防止其在不適當高壓條件下工作。即使對于技術并不熟練的操作員，AIM-S頭也非常容易拆卸，且易于清洗，并且不會對校準帶來不利影響。所有壓力顯示在人機界面顯示面板上。具體數(shù)據(jù)顯示如下：背壓-顯示背壓管線中的壓力。粗抽壓力-顯示抽空的最初“粗抽”階段腔室中的壓力。高真空壓力-顯示抽空的“高真空”階段腔室中的壓力。指形冷凍器（可選額外附件）真空室可配備具有Polycold PFC552低溫制冷系統(tǒng)的低溫制冷指形冷凍器。制冷系統(tǒng)連接到一個最小面積為250 cm2的“指形冷凍器”。指形冷凍器為圓形截面和自立式。本系統(tǒng)可運行-120℃以下溫度條件下注意：如果處理具有高水分含量的展示件，強烈建議此選項。同樣，對于一般用途，指形冷凍器將顯著縮短腔室抽空時間。VMD900DL說明手冊 第9頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited冰指的位置應使得可無阻礙地通過擦拭全長度而進行定期清洗，而無需移除任何輔助部件。注意：腔室門打開時，指形冷凍器溫度仍然可以維持在-100℃。需注意防止裸露皮膚的凍傷。健康和安全其設計和結構均需確保非技術的培訓人員的安全操作。使用機器相關的任何潛在健康危害已加以記錄，并完全符合英國的“工作健康與安全法”以及“控制危害健康物質條例”。電氣負荷VMD900DL系統(tǒng)和冷水機組需要415V+（中線）3相，50Hz，63安培的電力供應。目前可行的是將負荷均勻分布至各相。供水對于VHS-10擴散泵，最大可接受的入口溫度為25℃時的冷卻水流量要求為3.0 l min-1�？梢允亲詠硭騺碜宰杂烧玖⒌睦渌畽C組。對于Polycold PFC552HC系統(tǒng)（若購買），最大可接受的入口溫度為13℃時的冷卻水流量要求為4.3 l min-1�？梢允亲詠硭騺碜宰杂烧玖⒌睦渌畽C組。氣壓供應壓縮空氣的要求為100 磅平方英寸，幾乎為零流量�？梢允枪S空氣供應或來自自由站立的氣動壓縮機。排氣E2M80泵的排氣通過Edwards MF100油霧過濾器排放到大氣中注意：建議排氣通過管道排放至排煙點或通過外墻。排氣管線必須始終暢通無阻。VMD900DL說明手冊 第10頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited布置“獨立式”真空金屬沉積系統(tǒng)通常布置在實驗室中，所有泵及配件安裝到一個單獨的服務通道或附屬建筑物，以幫助減少輸出至室內和工作環(huán)境的噪音和熱量。假設泵和任何輔助設備都位于外部，在實驗室內系統(tǒng)的深度不超過3005mm，并且?guī)в糜谘b載的加長工件夾具，那么系統(tǒng)將不能大于1200mm，包括控制面板。強烈建議將E2M80/EH500真空泵機組放置在一個與主系統(tǒng)分隔的房間內。這是因為兩者均產生熱負荷，這對于實驗室而言是不可接受的。由于這一原因，放置這些裝置的房間應具有足夠的自然或強制通風條件。E2M80真空泵的噪聲級為70 dB（A），當放置泵時同時應該考慮該因素。可選附件閉環(huán)冷卻水機組應位于基座上，處于一個適當冷卻和通風良好的工作房或通道，或者可將它放置在建筑物外部。建議Polycold 552HC系統(tǒng)及壓縮機也應放置在一個適當冷卻和通風良好的工作房或通道內。樓板負荷近似的樓板負荷：主系統(tǒng)（腔室和控件） 1500Kg，占地為970mm×860mm真空泵組（E2M80/EH500） 220Kg，占地為400mm×250mm可選附件Polycold PFC552HC 408 Kg，占地為953 mm x 660 mm閉環(huán)冷卻水機組* 113 Kg，占地為652 mm x 575 mm閉環(huán)冷卻水機組* 188 Kg，占地為652 mm x 575 mm閉環(huán)冷卻水機組* 316 Kg，占地為1310 mm x 660 mm氣動壓縮機 50 Kg，占地為400 mm x 750 mm*沒有位于內部的Polycold PFC552和冷水機組的系統(tǒng)**沒有位于外部的Polycold PFC552和冷水機組的系統(tǒng)***具有位于內部的Polycold PFC552和冷水機組的系統(tǒng)VMD900DL說明手冊 第11頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited建筑工程應在主系統(tǒng)和相關設備選定位置的2米內提供上述的所有必需服務。設備文件該系統(tǒng)將提供：1. 提供一份簡單副本，附于用戶指南。2. 一份全面操作手冊的副本，詳細說明操作、保養(yǎng)和維護的所有方面。3. 技術數(shù)據(jù)旋轉泵： Edwards E2M80(80 m3hr-1)機械增壓器： Edwards EH500(500 m3hr-1)擴散泵： Varian VHS-10噪音水平： 小于75 dB尺寸： 1800mm寬x1920mm高×2200mm深度表面處理： 淺灰色的人造革4. 所需服務電氣： 414v 3相，50Hz中線+接地線電流額定： 最大63安培氣動空氣供應： 80-100 PSI水冷卻（VHS-10）： 在最高溫度25℃時流量為3 L min-1。水冷卻（PFC552HC）： 在最高溫度13℃時流量為4.3 L min-1。旋轉泵的排氣： 合適的提取點到大氣5. 安裝該系統(tǒng)將由West Technology Systems Limited工程師完全安裝至已準備就緒的現(xiàn)場。使用底座上提供的準平頂具調平裝置，將系統(tǒng)布置在一個干凈的位置。按照說明手冊，連接所有服務。重要提示：未能正確重新連接所有服務對于系統(tǒng)、系統(tǒng)組件及操作員將帶來危險。VMD900DL說明手冊 第12頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited重要提示：檢查所有電機的方向，確保三相連接正確。重要提示：重新安裝后的連接或重連操作只能由合格的人員進行。有關任何技術問題，請咨詢West Technology Systems Limited。6. 總體布局“VMD 900DL”的設計符合人體工程學，適合大多數(shù)實驗室狀況。所有電源服務位于機器后方的固定面板上，包括水、氣、電和真空泵排氣線。其他面板可拆卸，允許方便維護所需的地方。該系統(tǒng)的設計考慮大多數(shù)操作員對于通過PLC控制大多數(shù)操作的真空系統(tǒng)的了解甚少或有限。操作員面板具有系統(tǒng)的所有控制，啟動和關閉、腔室抽空和通風以及連續(xù)沉積。真空壓力調節(jié)（對于鋅層）和源蒸發(fā)電流控制位于HMI附近。源變壓器位于可拆卸面板背后主外殼的右手側。VMD900DL說明手冊 第13頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited可編程邏輯控制器、所有接觸器和控制線路位于可拆卸面板背后主外殼的左手側。7. 操作啟動系統(tǒng)注意：操作本設備前，請閱讀提供的所有說明書。注意：當旋轉工件夾具系統(tǒng)時應始終注意，并且操作員應確保不安裝不均衡負荷至工件夾具。首先檢查“緊急停止”按鈕不可操作，通過逆時針轉動釋放它。接著打開墻上的電源“ON”。然后通過操作位于VMD900DL左手側面板上的開關打開電源。HMI將開始測試例程，約15秒后會顯示 “WEST TECHNOLOGY歡迎屏幕”。按屏幕上的任何地方，操作員進入“泵操作屏幕”按下“信息”按鈕，操作員將進入“信息屏幕”（參見后文）。VMD900DL說明手冊 第14頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited為啟動系統(tǒng)，操作員按下“開始系統(tǒng)”按鈕。注意：如果“安全復位”按鈕是紅色的，則系統(tǒng)必須休息。為了完成此操作，操作員按下“安全復位”按鈕。在短暫的延遲后，這個按鈕更改為“安全健康”。一旦出現(xiàn)“安全健康”的說明，操作員可以通過按下“啟動系統(tǒng)”按鈕啟動系統(tǒng)。該按鈕將轉化為顯示“停止系統(tǒng)。VMD900DL說明手冊 第15頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited該系統(tǒng)需要30分鐘才能啟動，并且時間以倒數(shù)形式在“準備進入”箱中顯示。控制屏幕按下系統(tǒng)模擬上的“控制”按鈕，操作員進入“控制屏幕”。這是系統(tǒng)的主控制屏幕。“控制屏幕”是操作員執(zhí)行連續(xù)沉積過程的地方。按下“抽空”按鈕，啟動腔室的抽空。由于該按鈕是按下的，按鈕上的說明暫時變?yōu)?ldquo;抽氣”，然后又返回顯示“抽空”。在屏幕上顯示腔室壓力。按下“關閉燈光”按鈕，打開腔室LED燈，以照亮真空室內部。當按下時，“關閉燈光”圖標變?yōu)?ldquo;打開燈光”。再次按下該按鈕，關閉LED燈（圖標變回為“關閉燈光”）。如需對真空室通風，操作員只需按下“通風”按鈕即可。一旦按下，腔室自動通風，并返回至大氣壓力。按下“菜單”按鈕，操作員進入“菜單屏幕”。按下“燈箱”，HMI屏幕將變?yōu)橐粋�白色的燈箱屏幕�？捎糜诳焖贆z查工藝展示件，以評估顯現(xiàn)的指紋。按下“菜單”按鈕，操作員進入“菜單屏幕”。按下“密封”按鈕，將密封腔室，即高真空閥門將關閉。此功能用于將展示件整夜維持在高真空條件下。VMD900DL說明手冊 第16頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited金/鋅蒸發(fā)一旦腔室真空壓力達到高真空壓力高于1×10-4毫巴，蒸發(fā)源將變得活躍。為開始金沉積過程，按下“關閉源”按鈕。Source Activation Button 源激活按鈕經短暫延時后，右側“關閉源”圖標變?yōu)?ldquo;源1”，而左側“關閉源”圖標變?yōu)?ldquo;鍍金層1”。此時，操作員可以在HMI屏幕下側位置慢慢調整，并增加蒸發(fā)電流，直至蒸發(fā)皿發(fā)出暗紅色，并且金絲融化和“浸濕”蒸發(fā)皿。VMD900DL說明手冊 第17頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems LimitedCurrent Potentiometer 電流電位計注意：如果蒸發(fā)電流上升太快，那么金絲可能從蒸發(fā)皿中跳出。當黃金“浸濕”蒸發(fā)皿時，操作員可以通過電流電位計慢慢增加蒸發(fā)電流直到蒸發(fā)皿發(fā)出白熱，黃金將開始蒸發(fā)。蒸發(fā)時間不應超過3-5秒。當蒸發(fā)結束時，操作員使用電流電位計慢慢調節(jié)蒸發(fā)電流至零。按下“源1”按鈕，然后選擇第2組金蒸發(fā)皿（如果已安裝）。在正常工作下，不使用該蒸發(fā)源，但可能存在需要額外黃金蒸發(fā)的情況。另外該蒸發(fā)源可用于鋅蒸發(fā)后需要進行銀連續(xù)蒸發(fā)的工藝。當按下“源1”時，圖標變?yōu)?ldquo;源2” ，并且“金層1”圖標變?yōu)?ldquo;金層2”。然后重復黃金蒸發(fā)步驟。VMD900DL說明手冊 第18頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited如果不需要黃金二次沉積，那么通過按下“源1”按鈕兩次，操作員進入“源3”，并且“金層1”圖標變?yōu)?ldquo;鋅層”。系統(tǒng)將自動調整鋅蒸發(fā)腔室的壓力，通常需要幾秒鐘時間達到穩(wěn)定，此時將顯示圖標“鋅層”。在慢慢調節(jié)電流電位計前，建議操作員通過按下“打開燈光”按鈕關閉腔室的燈。用于蒸發(fā)金的相同工藝也適用于蒸發(fā)鋅，即操作員可以慢慢調整電流電位計，并增加蒸發(fā)電流直到蒸發(fā)皿發(fā)出暗紅色，鋅箔（或顆粒）源材料熔化并“浸濕”蒸發(fā)皿。此時，迅速按下“關閉燈光”按鈕打開腔室的燈，并觀察被加工展示件的表面。通過慢慢增加電流，鋅將開始堆積至展示件表面，顯現(xiàn)指紋。這將允許操作員觀察和評估鋅的沉積，以獲得最佳的指紋圖像。需要經驗來判斷沉積至樣品材料的鋅量，以沉積足夠的鋅產生指紋圖像，但不會沉積過多鋅而降低指紋圖像的清晰度。注意：如果蒸發(fā)電流上升太快，那么金絲可能從蒸發(fā)皿中跳出。VMD900DL說明手冊 第19頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited注意：如果鋅沉積工藝的腔室壓力太低，那么在屏幕上將不會顯示“鋅層”圖標，同時顯示圖標“低壓”。注意：如果鋅沉積工藝的腔室壓力太高，那么在屏幕上將不會顯示“鋅層”圖標，同時顯示圖標“高壓”。在這種情況下，不能蒸發(fā)鋅直到已糾正壓力條件。這通過小心逐步地調整位于腔室的右手側的泄漏閥完成。VMD900DL說明手冊 第20頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited鋅蒸發(fā)結束時，按下“源3”按鈕將關閉所有蒸發(fā)源。按下“通風”按鈕，腔室返回到大氣壓力，可以移除被加工展示件的材料。一旦按下，圖標在返回至“通風”前暫時變?yōu)?ldquo;正在通風”。通風腔室需要大約2分鐘。菜單屏幕該屏幕允許訪問所有其他系統(tǒng)屏幕。控制屏幕-按下此按鈕，操作員進入“控制屏幕”（參見上文）系統(tǒng)啟動-按下此按鈕，操作員進入“泵操作屏幕”（參見上文）。壓力-按下此按鈕，操作員進入“壓力屏幕”（參見下文）。模擬-按下此按鈕，操作員進入“系統(tǒng)模擬屏幕”（參見下文）。VMD900DL說明手冊 第21頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited數(shù)據(jù)-按下此按鈕，操作員進入“數(shù)據(jù)屏幕”（參見下文）。信息-按下此按鈕，操作員進入“信息屏幕”（參見下文）。報警-按下此按鈕，操作員進入“報警屏幕”（參見下文）中文/英文-按下此按鈕，更改HMI屏幕中使用的語言，從英文變更為中文，或相反。壓力屏幕該屏幕顯示背壓、粗抽壓和高真空計壓。系統(tǒng)模擬屏幕該屏幕提供有關系統(tǒng)運行狀態(tài)的信息，例如上述例子中真空泵處于運行中，高真空閥和止回閥打開。圖標“高真空”表明系統(tǒng)處于高真空。壓力顯示器正顯示3.5×10-5毫巴。VMD900DL說明手冊 第22頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited按下“關閉燈光”按鈕，打開腔室LED燈，以照亮真空室內部。在工藝沉積期間，當加載金絲至蒸發(fā)皿和開始施加電流至鋅蒸發(fā)皿時，這一步驟有用。按下“菜單”按鈕，操作員進入“菜單屏幕”（參見下文）。按下“控制”按鈕，操作員進入“控制屏幕”按下“外部”按鈕，操作員進入“服務屏幕”。該屏幕顯示冷水機組（如配備）和氣動壓縮機（如配備）的運行狀態(tài)。同時提示操作員供水和空氣供應是否在運行參數(shù)內。按下“內部”按鈕，操作員返回至“系統(tǒng)模擬屏幕”。數(shù)據(jù)屏幕該屏幕顯示有關所有關鍵運行的系統(tǒng)參數(shù)，包括背壓、粗抽壓和高真空計壓。主要部件的運行狀態(tài)（如旋轉真空泵、機械增壓泵等）和自動控制程序中使用的設定點系列。VMD900DL說明手冊 第23頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited注意：可以改變設定點，但是在未與West Technology討論前，強烈建議操作員不要更改任何設置點。信息屏幕該屏幕有許多按鈕，允許操作員了解系統(tǒng)的更多信息：啟動泵-說明當系統(tǒng)啟動時真空泵的操作順序。報警-按下此按鈕，操作員進入“報警屏幕”（參見下文）壓力-操作員進入“壓力信息屏幕”（參見下文）。服務-操作員進入“服務信息屏幕”（參見下文）。趨勢-操作員進入“壓力趨勢屏幕”（參見下文）。維護-操作員進入“維護屏幕”（參見下文）。定時器-操作員進入“定時器屏幕”（參見下文）。I/O列表-操作員進入“I/O列表屏幕”（參見下文）。VMD900DL說明手冊 第24頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited壓力信息屏幕該屏幕說明背壓、粗抽壓和高真空壓表如何工作并顯示真空壓力。服務信息屏幕該屏幕給予有關West Technology的聯(lián)系信息。有關服務支持合同的詳情，請聯(lián)系我們。趨勢屏幕該屏幕顯示粗抽和高真空壓力趨勢表。VMD900DL說明手冊 第25頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited維護屏幕該屏幕給出系統(tǒng)的每周、每月、每3個月和年度維修計劃。定時器屏幕該屏幕給出有關擴散高真空泵預熱定時器（系統(tǒng)啟動時激活）和擴散泵冷卻定時器（系統(tǒng)關閉時激活）的信息。I/O列表屏幕VMD900DL說明手冊 第26頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited該屏幕受密碼保護，只能由授權的服務工程師訪問。一旦訪問，該屏幕允許工程師選擇系統(tǒng)的手動控制和一系列其他功能。工藝周期裝載樣品為裝載樣品材料至腔室，操作員必須先釋放門閂并打開門。注意：如果腔室已經在運行或處于“密封”狀態(tài)，那么操作員必須按下“控制屏幕”上的“通風”按鈕，使得腔室返回至大氣壓力。操作員然后從腔室撤回工件夾具（使用手柄）。當工件夾具處于完全伸出的位置，操作員拉動位于右手側的小扣銷，并慢慢倒轉工件夾具。注意：必須拉出扣銷，以充分旋轉工件夾具至其設定位置。工件夾具具有一個三位式閂鎖組件-正常位置、90度、45度和完全倒轉。一旦工件夾具處于其所需位置，可以釋放扣銷，以鎖定工件夾具的位置。確保樣品材料是光滑的，使用小塊高性能磁體將其連接至工件夾具。一旦連接，旋轉工件夾具回到正常位置。注意：當旋轉工件夾具系統(tǒng)時應始終注意，并且操作員應確保不安裝不均衡負荷至工件夾具。最后操作員將工件夾具推回至腔室內，并關上門。腔室抽空為抽空腔室，操作員必須按下“控制屏幕”中的“抽空”按鈕。事件的先后序列如下：1. 粗抽閥打開。VMD900DL說明手冊 第27頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited2. 腔室內壓力降低到預定水平（交叉壓力）。3. 粗抽閥關閉。止回閥打開。4. 高真空閥打開。5. 腔室抽空至高真空壓力沉積過程1. 操作員首先確保電流電位計設置為零（順時針旋轉到底）。2. 如果不是在“控制屏幕”中，操作員通過“系統(tǒng)模擬屏幕”或“菜單屏幕”選擇該屏幕。3. 在“控制屏幕”中，操作員按下左側“關閉源”按鈕，該按鈕的圖標變?yōu)?ldquo;源1”，右側關閉源”下方圖標變?yōu)?ldquo;金層1”。4. 然后，操作員逆時針慢慢旋轉電流電位計旋鈕，直到獲得所需蒸發(fā)度。（參見上述“控制屏幕”中的注釋）。注意：黃金源的供電不要過快，因為會出現(xiàn)熱沖擊，而導致黃金從蒸發(fā)皿中跳出。緩慢向蒸發(fā)皿供電，直到黃金首次浸濕蒸發(fā)皿，然后增加供電，以實現(xiàn)完全蒸發(fā)。通過增加功率，黃金將完全蒸發(fā)，直到蒸發(fā)皿達到白熱狀態(tài)。注意：在黃金蒸發(fā)期間，最好關閉腔室燈。5. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時針滿旋電流電位計旋鈕，以確保其關閉。6. 然后操作員按下“源1”一次選擇進行二次金蒸發(fā)，或按下“源1”兩次繼續(xù)鋅蒸發(fā)，而圖標變?yōu)?ldquo;源3”。將有短暫的停頓，同時系統(tǒng)自動調整腔室中的壓力至約3×10-4毫巴。一旦鋅沉積的真空壓力在規(guī)定的范圍內，右側圖標變?yōu)?ldquo;鋅層”。VMD900DL說明手冊 第28頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited可通過位于RHS上真空腔室正下方的LV10K細針型閥，將鋅蒸發(fā)壓力調整至預定范圍內。順時針旋轉閥門旋鈕，增加真空壓力（例如，從6.7×10-4至3.3×10-4毫巴），而逆時針旋轉，則減小真空壓力（例如，從3.3×10-4至6.7×10-4毫巴）。當蒸發(fā)鋅蒸發(fā)皿時，建議開始時應關閉腔室燈。緩慢地供電，直至蒸發(fā)皿的兩端開始發(fā)出暗紅色，并且在增加功率開始蒸發(fā)前，允許短時間將鋅浸泡在該水平。注意：當蒸發(fā)鋅層時，建議打開腔室燈，這樣可以觀察到指紋的顯現(xiàn)。在某些材料上很難觀察指紋的顯現(xiàn)。因此，建議固定一個小尺寸白色塑料試件至工件夾具，以幫助觀察。7. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時針滿旋電流電位計旋鈕，以確保其關閉。8. 完成鋅蒸發(fā)后，建議操作員切換回“金層1”，并緩慢增加電流直至金蒸發(fā)皿發(fā)出白熱。通過這一步驟將移除蒸發(fā)皿上的任何鋅污染。9. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時針滿旋電流電位計旋鈕，以確保其關閉。腔室通風為使腔室通風回到大氣壓力，操作員必須按下“控制屏幕”中的“通風”按鈕。事件的先后序列如下：1. 高真空閥關閉。2. 短暫延時后，進氣閥打開。VMD900DL說明手冊 第29頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited3. 一旦腔室處于大氣壓力，進氣閥關閉并且系統(tǒng)重啟。腔室清洗注意：當清洗腔室設備時，應使用防塵口面罩、橡膠手套和安全眼鏡。注意：WTSL建議在開始任何清洗前先關閉系統(tǒng)。注意：為確保不會積累大型沉積，腔室定期清洗非常必要。這將使日常維護更容易，并有助于保持系統(tǒng)的最佳性能。為協(xié)助清洗過程，腔室已安裝可拆卸的襯墊，一旦從腔室移除，應使用合適的溶劑擦除干凈。對于更頑固的沉積，我們建議使用輕百潔布擦拭。移除襯墊后，應清掃腔室，并特別注意母線周圍，防止沉積的堆積而導致短路。注意：可以從West Technology訂購備用襯墊套。LED燈表面也需要定期清洗。我們建議在燈上涂敷適當?shù)恼婵諠櫥⊥繉樱虼酥恍枰褂眠m當溶劑清洗劑即可清洗。這將防止清洗期間燈具被劃傷。VMD900DL說明手冊 第30頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited8 建議的服務要求每周Ÿ 檢查所有E2M80 和EH500真空泵的油視鏡的油位。如有需要，進行補充。Ÿ 檢查氣動壓縮機的油位（如果存在）。如有需要，進行補充。Ÿ 清洗腔室和O型環(huán)密封。每月Ÿ 清洗腔室和室內設備。每3月Ÿ 檢查O型環(huán)門密封。每6月Ÿ 檢查擴散泵流體的條件和水平。每12月Ÿ 小型服務E2M80泵Ÿ 更換EH500機械增壓器中的油（如需要）。Ÿ 檢查擴散泵流體。Ÿ 檢查粗抽壓、背壓、進氣和高真空閥。Ÿ 清洗和檢查真空計。注意：當清洗腔室、室內設備、真空閥、真空計等，應使用呼吸防塵面罩、橡膠手套和安全眼鏡。注意：必須按照制造商的說明清洗表。VMD900DL說明手冊 第31頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited9 建議的備件和耗材VMD900備件 零件號ultragrade 20油，1升 WTS/11024015/1Lultragrade 20油，4升 WTS/11024013/4LDC704擴散泵油，1升 WTS/704/1LAIM-S-NW25主動倒置式磁控真空計頭 WTS/14641000ATC-M-1/8"主動熱電偶真空計頭 WTS/35108000晶閘管熔絲16A WTS/THYFUSE備用熔絲組 WTS/熔絲工具箱 WTS/工具10 Bremag磁鐵包 WTS/NB012B-MLED燈 WTS/MR16-3CW-XREP4-C腔室門密封 WTS/門封O型密封圈組 WTS/密封組VMD耗材（所有型號）蒸發(fā)皿 零件號黃金（10包） WTS/金/蒸發(fā)皿銀（10包） WTS/銀/蒸發(fā)皿鋅（10包） WTS/銀/蒸發(fā)皿蒸發(fā)源材料金絲1m WTS/金/1M銀絲1m WTS/銀/1M鋅粒250g WTS/鋅/250gVMD900DL說明手冊 第32頁Copyright ©West Technology Systems Limited 2014世聯(lián)翻譯-讓世界自由溝通！專業(yè)的全球語言翻譯供應商，上海翻譯公司專業(yè)品牌。絲路沿線56種語言一站式翻譯與技術解決方案，專業(yè)英語翻譯、日語翻譯等文檔翻譯、同傳口譯、視頻翻譯、出國外派服務，加速您的全球交付。 世聯(lián)翻譯公司在北京、上海、深圳等國際交往城市設有翻譯基地，業(yè)務覆蓋全國城市。每天有近百萬字節(jié)的信息和貿易通過世聯(lián)走向全球！積累了大量政商用戶數(shù)據(jù)，翻譯人才庫數(shù)據(jù)，多語種語料庫大數(shù)據(jù)。世聯(lián)品牌和服務品質已得到政務防務和國際組織、跨國公司和大中型企業(yè)等近萬用戶的認可。
